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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法で室温合成した(Al1-xScx)N膜の強誘電性評価 
英文: 
著者
和文: 安岡慎之介, 清水荘雄, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 舟窪浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Shimizu Takao, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2020年9月8日 
出版者
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会議名称
和文:第81回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
和文: 
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