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論文・著書情報
タイトル
和文:
(ScxAl1-x)N薄膜の強誘電性の温度依存性
英文:
著者
和文:
水谷涼一
,
安岡慎之介
,
清水荘雄
,
舟窪浩
.
英文:
Ryoichi Mizutani
,
Shinnosuke Yasuoka
,
Shimizu Takao
,
HIROSHI FUNAKUBO
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2021年3月16日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第68回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
英文:
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