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論文・著書情報


タイトル
和文:Y2O3-HfO2強誘電体薄膜を搭載したMEMSユニモルフカンチレバーの作製と特性評価 
英文: 
著者
和文: 海老原凌, 吉田慎哉, 志村礼司郎, 舟窪浩, 田中秀治.  
英文: 海老原凌, 吉田慎哉, Reijiro Shimura, HIROSHI FUNAKUBO, Shuji Tanaka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年3月16日 
出版者
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会議名称
和文:第68回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
和文: 
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