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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Highly Oriented Growth of AlxSc1-xN Ferroelectric Film on W Bottom Electrodes 
著者
和文: TSAI Sung Lin, 星井 拓也, 若林 整, 筒井 一生, 角嶋 邦之.  
英文: S. Tsai, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2020年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Electrochemical Society (ECS) PRIME 2020 
開催地
和文: 
英文:Hawaii 

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