Metallization of Three-Dimensional Complex Structure as Functional Components in Electronic Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Metallization of Three-Dimensional Complex Structure as Functional Components in Electronic Devices

著者

和文:	CHENG PO-WEI, 陳君怡, 市林拓, Chang Tso-Fu Mark, 曽根正人, 西村涼.
英文:	Po-Wei Cheng, Chun-Yi Chen, Taku Ichibayashi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Suzushi Nishimura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	第82回応用物理学会秋季学術講演会

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第82回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文: