Design and precision tracking control of a high-bandwidth fast steering mirror for laser beam machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and precision tracking control of a high-bandwidth fast steering mirror for laser beam machining

著者

和文:	鍾建朋, 西田莉那, 進士忠彦.
英文:	Jianpeng Zhong, Rina Nishida, Tadahiko Shinshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 73（2022） pp. 128-139

出版年月

2021年9月7日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI