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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Distribution of trace impurities in micro volumes and analysis of concentration using laser sputtered neutral mass spectrometry 
著者
和文: 圷 晴子, Reiko Saito, Jun Asakawa, Kei Kiyokawa, Masato Morita, Tetsuo Sakamoto, 藤井 正明.  
英文: Haruko Akutsu, Reiko Saito, Jun Asakawa, Kei Kiyokawa, Masato Morita, Tetsuo Sakamoto, Masaaki Fujii.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Vacuum Science & Technology B 
巻, 号, ページ Vol. 39    Issue 6   
出版年月 2021年12月6日 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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