Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討 
英文: 
著者
和文: 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.  
英文: Akira Onishi, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Takasi Itikawa, Sangyeop Lee, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第82回 応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.