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論文・著書情報


タイトル
和文:ECFマイクロポンプの高圧化の可能性について 
英文:The potential on the high output pressure of the ECF micropumps 
著者
和文: 横田 眞一, 金 俊完.  
英文: SHINICHI YOKOTA, Joon-wan KIM.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会 研究成果報告書 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 101-104
出版年月 2022年4月20日 
出版者
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会議名称
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開催地
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