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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:PMA Evaluation of TiN ALD in InGaAs Nanosheet MOSFETs 
著者
和文: 郷富将, 北村 稔, 後藤 高寛, 宮本 恭幸.  
英文: Tomimasa Go, M. Kitamura, T. Gotow, Y. Miyamoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年10月26日 
出版者
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会議名称
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英文:International Microprocesses and Nanotechnology Conference 
開催地
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英文: 

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