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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:WS2 Film by Sputtering and Sulfur-Vapor Annealing, and its pMISFET with TiN/HfO2 Top-Gate Stack, TiN Bottom Contact, and Ultra-Thin Body and Box 
著者
和文: 濱田 拓也, 濱田 昌也, 五十嵐 智, 堀口 大河, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 辰巳 哲也, 冨谷 茂隆, 若林 整.  
英文: Takuya Hamada, Masaya Hamada, Satoshi Igarashi, Taiga Horiguchi, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of the Electron Devices Society (J-EDS) 
巻, 号, ページ Vol. 9        p. 1117
出版年月 2021年8月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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