Plasma-resistace evaluation of yttrium oxyfluoride coating prepared by aerosol deposition method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Plasma-resistace evaluation of yttrium oxyfluoride coating prepared by aerosol deposition method

著者

和文:	芦澤宏明, 吉田克己.
英文:	Hiroaki Ashizawa, Katsumi Yoshida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Applied Ceramic Technology

巻, 号, ページ

Vol. 19 No. 1 pp. 375-382

出版年月

2022年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI