Study on the surface properties of ta-C films deposited by FCVA method on the trench-shaped target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on the surface properties of ta-C films deposited by FCVA method on the trench-shaped target

著者

和文:	Hayata Fujimoto, Takumi Ishikawa, 川合功太郎, 加藤豊大, 赤坂大樹, 平田祐樹, 大竹尚登, Hiroshige Matsuoka.
英文:	Hayata Fujimoto, Takumi Ishikawa, Kotaro Kawai, Toyohiro Kato, Hiroki Akasaka, Yuki Hirata, Naoto Ohtake, Hiroshige Matsuoka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment

開催地

和文:
英文: