Highly-dense and smooth amorphous silicon films fabricated by arc plasma deposition and electrochemical properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly-dense and smooth amorphous silicon films fabricated by arc plasma deposition and electrochemical properties

著者

和文:	淺野翔, 畠純一, 松井直喜, 鈴木耕太, 菅野了次, 平山雅章.
英文:	Sho Asano, Junichi Hata, Naoki Matsui, Kota Suzuki, Ryoji Kanno, Masaaki Hirayama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th Asian Conference on Solid State Ionics (ACSSI-2020)(ハイブリッド開催)

開催地

和文:
英文:	Nagoya