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論文・著書情報


タイトル
和文:室温でのエキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の固相エピタキシャル成長と特性評価 
英文:Solid-phase epitaxial growth of impurity-doped β-Ga2O3 thin films by RT-excimer laser annealing 
著者
和文: 沼田拓実, 甲斐稜也, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.  
英文: Takumi Numata, Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年9月22日 
出版者
和文:応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第83回 応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022 
開催地
和文:宮城県仙台市 
英文:Sendai 
公式リンク https://meeting.jsap.or.jp/
 

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