CaF<sub>2</sub>上に成膜したSi薄膜の表面平坦性に対するAs照射効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	CaF₂上に成膜したSi薄膜の表面平坦性に対するAs照射効果
英文:	Effect of As irradiation on the surface roughness of Si thin films grown on CaF₂

著者

和文:	齊藤雅高, 鄭源宰, 劉龍, 小柳陽平, 菅原大暉, 渡辺正裕.
英文:	Masataka Saito, Gensai Tei, Long Liu, Yohei Koyanagi, Daiki Sugawara, Masahiro Watanabe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 (青山学院大学相模原キャンパス＆オンライン)
英文:

巻, 号, ページ

p. 12-202

出版年月

2022年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 69th The Japan Society of Applied Physics Spring Meeting

開催地

和文:
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