MEMS-based Magnetic Actuators Using Thick-film FePt Permanent Magnet for Micropumps

論文・著書情報

タイトル

和文:	FePt 厚膜磁石を用いたマイクロポンプ用MEMS 電磁アクチュエータ
英文:	MEMS-based Magnetic Actuators Using Thick-film FePt Permanent Magnet for Micropumps

著者

和文:	QI Chao, 永井慧大, 紀明, 宮原悠, 杉田直広, 進士忠彦, 中野正基, 佐藤千明.
英文:	Chao Qi, Keita Nagai, 紀明, 宮原悠, Naohiro Sugita, TADAHIKO SHINSHI, 中野正基, Chiaki Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第31回MAGDA コンファレンス講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 577-578

出版年月

2022年11月1日

出版者

和文:	日本AEM学会
英文:

会議名称

和文:	第31回MAGDA コンファレンスin 鹿児島
英文:

開催地

和文:	鹿児島
英文: