A MAGNETIC ACTUATOR USING PLD-MADE FEPT THICK FILM AS A PERMANENT MAGNET AND MEMBRANE MATERIAL FOR BIDIRECTIONAL MICROPUMPS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A MAGNETIC ACTUATOR USING PLD-MADE FEPT THICK FILM AS A PERMANENT MAGNET AND MEMBRANE MATERIAL FOR BIDIRECTIONAL MICROPUMPS

著者

和文:	QI Chao, 永井慧大, Ming Ji, Yu Miyahara, 杉田直広, 進士忠彦, Masaki Nakano, 佐藤千明.
英文:	Chao Qi, Keita Nagai, Ming Ji, Yu Miyahara, Naohiro Sugita, Tadahiko Shinshi, Masaki Nakano, Chiaki Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

978-1-6654-9306-2/22/$31.00

出版年月

2022年12月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	PowerMEMS 2022

開催地

和文:
英文:	Salt Lake City