Measurement of electron energy distribution function by continuum-spectrum optical emission spectrometry in non-equilibrium atmospheric-pressure plasma
大気圧非平衡プラズマの放つ制動放射に起因する連続スペクトルを分光計測すれば、電子エネルギー分布関数(EEDF)も原理的には求められる。得られたスペクトルを理論式に適用すれば第1種Volterra 積分方程式となり、EEDFは原理的に求解可能だが、計測可能な波長範囲が有限なため、一般的ソルバーは使用できない。そこでFitnessパラメータを目的関数として最小化する様に、電子エネルギー確率関数EEPF=EEDF/√Eを電子エネルギー空間中に離散化して求めた。その結果、2.8 eV 付近に折れ曲がりを持つ2温度 Maxwell 分布に近い形が得られた。バルク成分は0.26-0.29 eV 程度、テール成分は2.2-3.0 eV 程度であった。なお、本方法では測定光子よりも低エネルギーの電子については情報が得られず、一方高エネルギー側は情報は得られるものの精度が乏しくなることが判明した。
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