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論文・著書情報


タイトル
和文:Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響 
英文: 
著者
和文: 宮井 良介, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 大西 哲, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit CHAKRABORTY, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 16a-B410-5
出版年月 2023年3月15日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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