Mechanical Property Design of Multilayered Ti/Au Microcomponents by Electrodeposition Toward High-Sensitive MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Property Design of Multilayered Ti/Au Microcomponents by Electrodeposition Toward High-Sensitive MEMS Accelerometers

著者

和文:	曽根正人, Chang Tso-Fu Mark, 栗岡智行, 陳君怡, CHAKRABORTY P, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Tomoyuki Kurioka, Chun-yi Chen, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	244th ECS Meeting

巻, 号, ページ

出版年月

2023年10月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	244th ECS Meeting

開催地

和文:
英文:	Gothenburg