Grain-Size Enlargement of MoS2 Film by Low-Rate Sputtering with Molybdenum Grid

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Grain-Size Enlargement of MoS2 Film by Low-Rate Sputtering with Molybdenum Grid

著者

和文:	今井慎也, 小野凌, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 筒井一生, 若林整.
英文:	Shinya Imai, Ryo Ono, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM)

開催地

和文:
英文:	Seoul

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DOI