Improvement of MoS2 Film Quality by Solid-Phase Crystallization from PVD Amorphous MoSx Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of MoS2 Film Quality by Solid-Phase Crystallization from PVD Amorphous MoSx Film

著者

和文:	小野凌, 今井慎也, 川那子高暢, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 若林整.
英文:	Ryo Ono, Shinya Imai, Takamasa Kawanago, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM)

開催地

和文:
英文:	Seoul

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DOI