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タイトル
和文:スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体厚膜の非加熱合成 
英文: 
著者
和文: 茶谷那知, 平井浩司, 安岡慎之介, 岡本一輝, 山岡和希子, 井上ゆか梨, 舟窪浩.  
英文: Nachi Chaya, Koji Hirai, Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, 山岡和希子, 井上ゆか梨, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月15日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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