Atomic Layer Deposition of MnOx on Carbon Nanowalls Synthesized by PECVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Layer Deposition of MnOx on Carbon Nanowalls Synthesized by PECVD

著者

和文:	HOSSEIN NEDJAD Nasrin, DongHoon Shin, Abdessadk Anagri, 森伸介, Jerome Pulpytel, Farzaneh Arefi-Khonsari.
英文:	Nasrin Hossein Nedjad, DongHoon Shin, Abdessadk Anagri, Shinsuke Mori, Jerome Pulpytel, Farzaneh Arefi-Khonsari.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 18th International Conference on Plasma Surface Engineering

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	18th International Conference on Plasma Surface Engineering

開催地

和文:
英文:	Erfurt