Fabrication of highly-oriented β-Ga2O3 thin film on ZnO/AlOx-buffered cyclo-olefin polymer substrate by excimer laser annealing at room temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of highly-oriented β-Ga2O3 thin film on ZnO/AlOx-buffered cyclo-olefin polymer substrate by excimer laser annealing at room temperature

著者

和文:	甲斐稜也, 大賀友瑛, 渡邉一樹, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Kazuki Watanabe, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 4

出版年月

2023年4月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

DOI