プラズマ材料プロセス分野で多用される0.1-100 Pa 程度の放電圧力で生成した低電子温度（～1-10 eV）の非平衡アルゴンプラズマを対象に，プラズマの原子発光スペクトルの分光計測からプラズマパラメータ（電子密度，電子エネルギー分布関数など）を導出する手法につき，プラズマ中の励起状態生成消滅を素過程レベルで記述した「衝突輻射モデル」を用いた方法の基礎と応用例を述べる．衝突輻射モデルそのものの説明，衝突輻射モデルに基づく発光スペクトル（励起粒子密度比）のモデリング，発光スペクトルの実計測結果からプラズマパラメータを解析する手法，解析結果の誤差を評価し最適化する手法に関して，最近の研究成果を解説する．
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