大気圧マルチガスプラズマによるフッ素系樹脂の接着力強化実験

白井晶都

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧マルチガスプラズマによるフッ素系樹脂の接着力強化実験
英文:

著者

和文:	白井晶都.
英文:	Akito Shirai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年8月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第13回学生研究発表会～学会本格デビューに向けた，学生のための発表会～
英文:

開催地

和文:	東京都目黒区
英文:

アブストラクト

フッ素系樹脂は，耐熱性や耐薬品性などの特長を持つことから，半導体製造などの幅広い分野で用いられている。しかし，化学的に安定した構造のため，他の物質との接着が難しいという問題点がある。そこで本研究では，大気圧プラズマ処理によってフッ素系樹脂の接着力を強化する手法を検討した。発表では，PTFEの接着力強化に有効なガス種の検討結果及び，XPS分析結果から考察した，プラズマ処理による表面組成の変化について報告する。

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