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タイトル
和文:トモグラフィック発光分光計測によるプラズマ診断におけるチャンバ内壁反射光が電子温度・電子密度診断に及ぼす影響 
英文:Influence of reflected light from the chamber inner wall upon electron temperature and density in plasma diagnostics by tomographic optical emission spectroscopic measurement 
著者
和文: 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 菊地 航行, 石 健太, 渡邊 修平, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Wataru Kikuchi, Kenta Ishi, Shuhei Watanabe, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended abstracts of the 84th JSAP Autumn Meeting 
巻, 号, ページ         07-147
出版年月 2023年9月5日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:Japan Society of Appplied Physics 
会議名称
和文:2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 84th JSAP Autumn Meeting 
開催地
和文:熊本 
英文:Kumamoto 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2023a/presentation/23p-A301-3
 
アブストラクト プラズマのトモグラフィック発光分光計測において、チャンバ内壁面における多重反射光は、計測の不確かさを増加させうる。本研究では、減圧誘導結合プラズマにおいて、チャンバ内壁の反射率および視線配置が、再構成像に及ぼす影響を実験的に検討した。チャンバに、加圧蒸気封孔アルマイト処理内壁を用いることで、再構成像の歪が軽減した。さらに衝突輻射モデルにもとづき、電子温度・電子密度の空間分布を診断した。

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