UVナノインプリントリソグラフィを用いた大面積集積フォトニクスプロセスの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	UVナノインプリントリソグラフィを用いた大面積集積フォトニクスプロセスの開発
英文:

著者

和文:	雨宮智宏, 岡田祥, 高橋直樹, 佐々木龍耶, 堀川剛, 渥美裕樹, 小田悠貴, 原悠太, 野田真司, 山本宏, Thomas Uhrmann, Andrea Kneidinger, 森莉紗子, 藤井恭, 浅井隆宏, 塩田大, 西山伸彦.
英文:	Tomohiro Amemiya, Sho Okada, Naoki Takahashi, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Yuki Atsumi, Yuki Oda, Yuuta Hara, Shiji Noda, Hiroshi Yamamoto, Thomas Uhrmann, Andrea Kneidinger, Risako Mori, Kyo Fujii, Takahiro Asai, Dai Shioda, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第84回応用物理会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文: