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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法で堆積したMoS2薄膜へのコンタクト抵抗と熱処理依存性 
英文: 
著者
和文: 外山 真矢人, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 清水 淳一, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 若林 整.  
英文: Mayato Toyama, Takumi Ohashi, Kentaro Matsuura, Junnichi Shimizu, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第64回応用物理学会春季学術講演会 
英文:64th JSAP Spring meeting 
開催地
和文:横浜 
英文:Yokohama 

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