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論文・著書情報


タイトル
和文:トモグラフィック発光分光計測によるフッ素原子コロナモデルに基づくCF4/O2プラズマの電子温度診断 
英文:Electron temperature diagnosis of CF4/O2 plasma based on fluorine atomic corona model by tomographic optical emission spectroscopic measurement 
著者
和文: 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 渡邊 修平, 島谷 和希, 菊地 航行, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Shuhei Watanabe, Kazuki Shimatani, Wataru Kikuchi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 71st JSAP Spring Meeting 
巻, 号, ページ         p. 07-009
出版年月 2024年3月5日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics (JSAP) 
会議名称
和文:第71回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 71st JSAP Spring Meeting 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2024s/presentation/22a-12G-8
 
アブストラクト 本研究では CF4/O2誘導結合プラズマを対象に，チャンバ側面に配置した34視線の分光放射輝度をマルチチャネル分光器で測定した．制約正則化法にもとづく分光トモグラフィ計算により，分光放出係数の水平面分布を求めた．発光線スペクトルから，フッ素原子3 p^4 ^4D[7/2]^○および3p^2 ^2P[3/2]^○の励起準位準位数密度を求めた．コロナ平衡を仮定して電子温度の位置分布を診断した．チャンバ構造および装置パラメータが電子温度の位置分布に与える影響を考察した．

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