Crystal structure and electrical properties of (Al, Ga, Sc)N temary thin films prepared by RF sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystal structure and electrical properties of (Al, Ga, Sc)N temary thin films prepared by RF sputtering

著者

和文:	岡本一輝, 大田怜佳, 安岡慎之介, Yoshihiro Ueoka, Yoshiro Kususe, Masami Mesuda, 舟窪浩.
英文:	Kazuki Okamoto, Reika Ota, Shinnosuke Yasuoka, Yoshihiro Ueoka, Yoshiro Kususe, Masami Mesuda, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNC 2023 (36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference)

開催地

和文:
英文:	Sapporo