No heating deposition of CeO2-HfO2 ferroelectric thick films by sputtering method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	No heating deposition of CeO2-HfO2 ferroelectric thick films by sputtering method

著者

和文:	茶谷那知, 平井浩司, 安岡慎之介, 岡本一輝, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, 舟窪浩.
英文:	Nachi Chaya, Koji Hirai, Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNC 2023 (36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference)

開催地

和文:
英文:	Sapporo