Weakly guiding approximation of a three dimensional waveguide model for extreme ultraviolet lithography simulation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Weakly guiding approximation of a three dimensional waveguide model for extreme ultraviolet lithography simulation

著者

和文:	田邊容由, 神宮司明良, 高橋篤司.
英文:	Hiroyoshi Tanabe, Akira Jinguji, Atsushi Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of the Optical Society of America A

巻, 号, ページ

Vol. 41 Issue 8 pp. 1491-1499

出版年月

2024年7月8日

出版者

和文:
英文:	Optica Publishing Group

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI