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論文・著書情報


タイトル
和文:RFマグネトロンスパッタリング法によるSi基板上への強誘電体HfO2基薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 小野友慈, 近藤真矢, 寺西貴志, 岡本一輝, 舟窪浩, 山田智明, 岸本昭.  
英文: 小野友慈, 近藤真矢, 寺西貴志, Kazuki Okamoto, HIROSHI FUNAKUBO, Tomoaki Yamada, 岸本昭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年11月25日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第29回ヤングセラミスト・ミーティング 
英文: 
開催地
和文:岡山市 
英文: 

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