Ferroelectric Property Improvement of (Al1-x-yGaxScy)N Ternary Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ferroelectric Property Improvement of (Al1-x-yGaxScy)N Ternary Thin Films

著者

和文:	大田怜佳, 安岡慎之介, 岡本一輝, Yoshihiro Ueoka, Yoshiro Kususe, Masami Mesuda, 舟窪浩.
英文:	Reika Ota, Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, Yoshihiro Ueoka, Yoshiro Kususe, Masami Mesuda, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston