Characterization of Ferroelectric Switching Properties for (Al,Sc)N Films with Various Composition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Ferroelectric Switching Properties for (Al,Sc)N Films with Various Composition

著者

和文:	安岡慎之介, 岡本一輝, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston