Effect of gas annealing on the ferroelectric property of (Al0.8Sc0.2)N thin film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of gas annealing on the ferroelectric property of (Al0.8Sc0.2)N thin film

著者

和文:	Nana Sun, 岡本一輝, 安岡慎之介, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, 舟窪浩.
英文:	Nana Sun, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2024年1月7日

出版者

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会議名称

和文:	第62回セラミックス基礎科学討論会
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開催地

和文:	東京都
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