[20p-D901-2] Comparing Pulsed DC and Constant DC Facing Target Sputtering of Hydrogenated Intrinsic Amorphous Silicon for High-Quality Surface Passivation of Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	[20p-D901-2] Comparing Pulsed DC and Constant DC Facing Target Sputtering of Hydrogenated Intrinsic Amorphous Silicon for High-Quality Surface Passivation of Silicon

著者

和文:	LI SHASHA, 宮島晋介.
英文:	Shasha Li, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

開催地

和文:	熊本
英文:	Kumamoto