スパッタリング法によるAlN-(Mg, Si)N膜の作製とその特性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタリング法によるAlN-(Mg, Si)N膜の作製とその特性評価
英文:

著者

和文:	影山壮太郎, 岡本一輝, 安岡慎之介, 舟窪浩.
英文:	Sotaro Kageyama, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年1月7日

出版者

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会議名称

和文:	第62回セラミックス基礎科学討論会
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開催地

和文:	東京都
英文:

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