[P3-08] The influence of oxygen addition and post-deposition annealing on nanocrystalline GaN deposited by RF-sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	[P3-08] The influence of oxygen addition and post-deposition annealing on nanocrystalline GaN deposited by RF-sputtering

著者

和文:	Yuejie TAN, 宮島晋介.
英文:	Yuejie TAN, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年7月3日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2024)

開催地

和文:
英文:	Kyoto

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