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論文・著書情報


タイトル
和文:高基板温度におけるスパッタ膜形成時の内部応力in-situ観測 
英文:In-situ observation of internal stress during sputter-deposition of films on high temperature substrate 
著者
和文: 中川茂樹, 横澤諒, 飯田大介, 佐々木康宣, 高村陽太, 中光豊, 神保 武人.  
英文: Shigeki Nakagawa, Ryo Yokozawa, Daisuke Iida, Yasunobu Sasaki, Yota Takamura, Yutaka Nakamitsu, Takehito Jinbo.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ 16a-C31-10       
出版年月 2024年9月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第85回 応用物理学会秋期学術講演会 
英文:The 85th JSAP Autumn Meeting 2024 
開催地
和文:新潟県新潟市 
英文:Niigata, Niigata 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2024a/presentation/16a-C31-10
 

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