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論文・著書情報


タイトル
和文:非晶質酸化ガリウム薄膜固相結晶化へのエキシマレーザ照射条件の影響とマイクロ構造構築 
英文: 
著者
和文: 塩尻大士, 甲斐稜也, 金子智, 松田晃史, 吉本護.  
英文: daishi shiojiri, Ryoya Kai, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年9月5日 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:熊本県熊本市 
英文:Kumamoto 

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