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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Optical Emission Spectroscopic Measurement of Electron Temperature and Density of Oxygen ICP 
著者
和文: 赤塚洋, 渡邉修平, 土居謙太, 清田哲治, 山下雄也, 菊地航行, 石健太, 叶宇晨, 根津篤.  
英文: H. Akatsuka, S. Watanabe, K. Doi, T. Kiyota, Y. Yamashita, W. Kikuchi, K. Ishi, Y. Ye, A. Nezu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. DPS2024 
巻, 号, ページ         pp. 81-82
出版年月 2024年11月14日 
出版者
和文: 
英文:International Symposium on Dry Process Organizing Committee 
会議名称
和文: 
英文:The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024) 
開催地
和文:千歳 
英文:Chitose 
公式リンク http://www.dry-process.org/2024/poster_program.html
 
アブストラクト The 2D-xz distribution of electron temperature Te and density Ne in oxygen inductively coupled plasma (ICP) are obtained using optical emission spectroscopic (OES) measurement and spectral tomography algorithm. It is found that Te was higher at the center of the ICP apparatus while Ne was lower at the center, which is discussed in terms of molecular processes in the oxygen ICP.

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