MEMS 加速度センサのための Ti/Au 多層カンチレバーの  実効ヤング率に対する測定電圧依存性に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS 加速度センサのための Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率に対する測定電圧依存性に関する研究
英文:

著者

和文:	渡邉春海, 栗岡智行, 陳君怡, Tso-Fu Mark Chang, TENNETIDEVI, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Shunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Devi.Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月

出版者

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会議名称

和文:	Future Technologies fromSENDAI 2024 第 16 回集積化ＭＥＭＳシンポジウム
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開催地

和文:
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