Thickness Dependence of Ferroelectricity for Thin (Al0.9Sc0.1)N-based FeRAM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness Dependence of Ferroelectricity for Thin (Al0.9Sc0.1)N-based FeRAM

著者

和文:	道古宗俊, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, 恒川孝二, Nana Sun, Yoshiko Nakamura, 岡本一輝, 舟窪浩.
英文:	Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Nana Sun, Yoshiko Nakamura, Kazuki Okamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

R09

出版年月

2024年11月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2024 IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2024)

開催地

和文:
英文: