Effect of Ce/(Hf+Ce) Ratio on Ferroelectric Properties of Thick xCeO2-(1-x) HfO2 Films Deposited by Sputtering Method Without Substrate Heating

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Ce/(Hf+Ce) Ratio on Ferroelectric Properties of Thick xCeO2-(1-x) HfO2 Films Deposited by Sputtering Method Without Substrate Heating

著者

和文:	CHEN YU-TA, 岡本一輝, 下野園航平, 茶谷那知, 中畑美紀, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, 舟窪浩.
英文:	Yu-Ta Chen, Kazuki Okamoto, Kohei Shimonosono, Nachi Chaya, Miki Nakahata, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年9月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE UFFC-JS 2024 (IEEE Ultrasocinc, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium)

開催地

和文:
英文:	Taipei