Growth of Heterovalent Ternary Nitride, (Mg,Si)N, Thin Films and Their Piezoelectricity

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of Heterovalent Ternary Nitride, (Mg,Si)N, Thin Films and Their Piezoelectricity

著者

和文:	影山壮太郎, 岡本一輝, 安岡慎之介, 平永良臣, 内田寛, 舟窪浩.
英文:	Sotaro Kageyama, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Yoshiomi Hiranaga, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年10月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	STAC14 2024 (The fourteenth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics)

開催地

和文:
英文:	Yokohama