Fabrication of (Mg,Si)N Films by Reactive RF Magnetron Sputtering Method and Their Structure and Electric Properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of (Mg,Si)N Films by Reactive RF Magnetron Sputtering Method and Their Structure and Electric Properties

著者

和文:	影山壮太郎, 岡本一輝, 安岡慎之介, 平永良臣, Yoshihiro Ueoka, Masami Mesuda, 舟窪浩.
英文:	Sotaro Kageyama, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Yoshiomi Hiranaga, Yoshihiro Ueoka, Masami Mesuda, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年10月10日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	21st US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics

開催地

和文:
英文:	Kofu, Yamanash